Печать рисунка схемы на кремниевой пластине светом
Ключевая операция производства чипов: через маску с рисунком схемы засвечивают покрытую резистом пластину. Разрешение печати определяет, насколько мелкие элементы получится сделать, а значит и класс точности всего производства. Иммерсионная литография добавляет между линзой и пластиной слой жидкости, чтобы напечатать мельче; жёсткий ультрафиолет идёт ещё дальше и доступен единицам производителей.
Почему это важно: литограф — самый дорогой и самый охраняемый станок отрасли, и именно вокруг доступа к нему построен весь экспортный контроль. Обойти его нехватку можно многократной засветкой одной пластины, но за это платят выходом годных.
Что изменилось в 2026 году. В июле вышел первый серийный китайский иммерсионный литограф, и акции ASML — единственного производителя самых сложных станков — упали на 13 % за три дня. Это событие закрывает не весь запрет: иммерсионная печать и жёсткий ультрафиолет — разные классы станков.
Чего литография не решает. Отчёт «Кремниевый занавес» разбирает производство по шести слоям, и самым узким оказывается не станок, а химия: японский фоторезист с локализацией менее 10 %. Станок можно построить и купить, поставку лака — нет.
Ещё пишут: литографическая машина, EUV.